–
Доклады на научных конференциях
-
- 2025 Дизайн пространственно-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии для оценки однородности плазмы в плазмохимических реакторах (Стендовый)
- Авторы: Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Кириллов Е.А., Брюшков М.М., Рахимов А.Т.
- 7-ая Школа молодых учёных Российского форума «Микроэлектроника 2025», Сириус, Россия, Россия, 15-23 сентября 2025