–
Тезисы докладов
-
- 2025 Дизайн пространственно-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии для оценки однородности плазмы в плазмохимических реакторах
- Зиганшин И.И., Лопаев Д.В., Кириллов Е.А., Брюшков М.М., Рахимов А.Т.
- в сборнике Тезисы докладов научной конференции «ЭКБ и микроэлектронные модули». Российский форум «Микроэлектроника 2025», серия ШМУ Секция № 3 «Технологические процессы микроэлектроники», место издания Университет «Сириус», тезисы, с. 122-123