Направление посвящено экспериментальной и теоретической рентгеновской диагностике многослойных наноструктур, тонких плёнок и интерфейсов. Используются методы рентгеновской рефлектометрии и стоячих рентгеновских волн в сочетании с флуоресцентным анализом для восстановления профилей плотности, шероховатости и химического состава по толщине структуры. Развиваются численные методы моделирования оптических характеристик многослойных зеркал и наноструктурированных покрытий, а также алгоритмы подбора параметров по экспериментальным данным синхротронных источников.
Ключевые слова: рентгеновская оптика; синхротронное излучение; рентгеновские стоячие волны; рентгеновская рефлектометрия; рентгеновская флуоресценция; многослойные зеркала; наноструктурированные покрытия; тонкие плёнки; поверхности и интерфейсы; шероховатость и межслойная диффузия; численное моделирование / X-ray optics; synchrotron radiation; X-ray standing waves (XSW); X-ray reflectometry (XRR); X-ray fluorescence (XRF); multilayer mirrors; nanostructured coatings; thin films; surfaces and interfaces; roughness and interdiffusion; numerical modeling
рентгеновская оптика; синхротронное излучение; рентгеновские стоячие волны; рентгеновская рефлектометрия; многослойные зеркала; наноструктурированные многослойные покрытия; структурная диагностика тонких плёнок; флуоресцентный анализ с возбуждением рентгеновскими стоячими волнами; моделирование и численный расчёт оптических характеристик;
X-ray optics; synchrotron radiation; X-ray standing waves (XSW); X-ray reflectometry (XRR); multilayer mirrors; nanostructured multilayer coatings; structural characterization of thin films; X-ray fluorescence analysis with standing-wave excitation; numerical modeling of optical properties;