Области научных интересов
World leading expert in these areas.
Ключевые слова: Ионная Имплантация; Быстрый Термический Отжиг; Оксидирование / Ion Implantation; Rapid Thermal annealing; Oxidation
Ключевые слова
Физика полупроводников, Микроэлектроника, Материаловедение, Анализ материалов, Компьютерные рассчёты
Semiconductor Physics, Microelectronics, Materials Science, Materials Analysis, Computer simulations