Ключевые слова: Тонкие плёнки; осаждение тонких плёнок; магнетронное распыление; электронно-лучевое испарение / Thin films; sputtering; PVD

Ключевые слова: Сверхпроводниковые схемы; сверхпроводниковые кубиты; копланарные резонаторы; схемы с одноквантовой логикой / CPWR; CPW resonators; superconductor; superconducting qubits; superconducting circuits