Области научных интересов
Ключевые слова: электроника; микроэлектроника; физика твёрдого тела; полупроводниковый прибор; интегральная микросхема; электрофизический параметр; технологический маршрут; проектирование приборов электронной техники / electronics; microelectronics; solid state physics; semiconductor device; integrated circuit; electrophysical parameter; process flow; design of electronic devices
Ключевые слова
микроэлектроника, электроника, твердотельная электроника, полупроводниковый прибор, полупроводниковая структура, приборно-технологическое моделирование, электрофизические параметры прибора, технологический маршрут, технологический процесс, топология
microelectronics, electronics, solid-state electronics, semiconductor device, semiconductor structure, device-process simulation, electrophysical parameters of device, process flow, process, layout