Области научных интересов

Ключевые слова

сканирующая туннельная микроскопия (СТМ), атомно-силовая микроскопия (АСМ), сканирующая зондовая микроскопия (СЗМ), оптическая профилометрия (ОП), инфракрасная микроскопия (ИКМ), зондовые запоминающие устройства большой ёмкости (ЗЗУ), нанометрология, автоматическая характеризация поверхности, нанолитография, наноманипуляция, наносборка, нанопроизводство, молекулярное производство, нанотехнология, каталитические наночастицы (КНЧ), микромеханические биматериальные ИК-приёмники

scanning tunneling microscopy (STM), atomic-force microscopy (AFM), scanning probe microscopy (SPM), optical profilometry (OP), infrared microscopy (IRM), high capacity probe storage devices (PSD), nanometrology, automatic surface characterization, nanolithography, nanomanipulation, nanoassembling, nanofabrication, molecular manufacturing, nanotechnology, catalytic nanoparticles (CNP), micromechanical bimaterial IR-detectors