–
Патенты
-
- 1988 Плазмохимический реактор
- Авторы: Бояршинов Ю.А., Ермолова Н.А., Маляров А.В., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- #А.С. СССР № 1609392, 5H01L 21/302, 17 июня
-
- 1986 Способ плазмохимического удаления органических соединений с поверхности полупроводниковых пластин.
- Авторы: Воробьёв В.В., Кондаков М.И., Маляров А.В., Мартынова Т.С., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- #А.С. СССР № 1429842, H01L 21/306, 25 сентября