Аннотация:Разработана технология высокочистых триметилалкоксисиланов. Для исключения лабильности химических форм микропримесей в классическую схему синтеза триметилалкоксисиланов и глубокой ректификационной очистки вводится дополнительная стадия ионообменной очистки исходных спиртов. Для повышения выхода готового продукта введена стадия азеотропной дистилляции с азеотропнообразующими компонентами. Проведен выбор конструкционных материалов и газохроматографическое исследование примесного состава триметилалкоксисиланов. Разработка проводилась с помощью CALS-технологий.