Изучение влияния условий роста методом хгфо в режиме дугового разряда на образование и габитус кристаллов алмазастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 августа 2018 г.
Аннотация:Экспериментально изучено формирование кристаллов алмаза методом CVD в газовой смеси метан/водород с использованием дугового разряда постоянного тока для активации газовой смеси. Получены данные о зависимости размеров кристаллов от состава газовой смеси, температуры подложки и других параметров. Скорость роста кристаллов при используемом методе может превышать 100 мкм/ч. Показано участие в процессе роста кристаллов электронов и отрицательно заряженных частиц.