Определение параметров подповерхностных структур образца с помощью энергетического спектра вторичных электроновстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:С помощью разработанной программы моделирования методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь проводится анализ энергетических спектров (ЭС) вторичных электронов (ВЭ). Показана возможность определения толщин и глубин залегания подповерхностных структур по ЭС ВЭ.