|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ РАБОТОЙ УСТАНОВКИ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ TITANATE-ALDстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: ЮСИМ В.А., ЧЕКУЛАЕВ И.С., БУЛАНОВА Т.А., САРКИСОВ С.Э., АЛЕКСАХИН А.Н., СОКОЛОВ И.В., СИБИРЕВ И.В., БУЛАНОВ В.А., КОНДРАТЬЕВ К.В.
- Журнал: Инженерная физика
- Номер: 6
- Год издания: 2025
- DOI: 10.25791/infizik.6.2025.1482
- Аннотация: В данной работе описана система управления работой установки АСО для нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы, основанная на самонасыщаемых реакциях адсорбции между поверхностью и прекурсорами. Показаны преимущества автоматизации и рассмотрена система управления установкой. Особое внимание уделяется реализации верхнего уровня автоматизации системы на базе компонентов JAVA. Разработанное оборудование предполагается использовать в рамках лабораторий, технопарков, образовательных учреждений для ознакомления учащихся с базовыми принципами нанесения тонкоплёночных покрытий полупроводниковметодом АСО.Ключевые слова: атомно-слоевое осаждение, SCADA, JAVA, быстродействующие мембранные клапаны, интерактивный интерфейс.
- Добавил в систему: Юсим Валентин Александрович