Аннотация:Измерено радиальное распределение газовой температуры в тлеющем разряде постоянного тока в чистом кислороде в трубке из пирекса при различных режимах разряда в области давлений 1–5 торр. Анализ полученных результатов позволил определить коэффициент тепловой аккомодации молекул кислорода на пирексе: 0.26 ± 0.02. Коэффициент тепловой аккомодации определяет пространственное распределение температуры в плазмохимическом реакторе, кинетику реакций с участием тяжелых частиц в разряде и скорость плазмохимической обработки материалов.