Место издания:Издательство УдмФИЦ УрО РАН г. Ижевск
Первая страница:171
Последняя страница:172
Аннотация:Тонкие плёнки широкозонного полупроводника SnO₂, перспективного для газовых сенсоров и перовскитных солнечных элементов, получены ВЧ-магнетронным напылением. Толщина плёнок на кварцевых подложках варьировалась от 4 до 1030 нм за счёт времени напыления. Их оптические свойства исследованы спектроскопическим эллипсометром в диапазоне 240–2500 нм. Спектры пропускания измерялись при нормальном падении, а отражения — при углах 20–70°. Коэффициент отражения при нормальном падении определялся аппроксимацией угловых зависимостей с помощью специально разработанной компьютерной программы. В работе представлены спектральные зависимости коэффициента поглощения для плёнок разной толщины.