|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Исследование остаточных напряжений нанопленок металлов в процессе осаждениястатья
- Авторы: Виноградов Фёдор Андреевич, Федотов Алексей Юрьевич
- Сборник: Математическое моделирование в естественных науках: материалы XXXIV Всероссийской школы-конференции (г. Пермь, 8–10 октября 2025 г.)
- Год издания: 2025
- Место издания: Издательство Пермского национального исследовательского политехнического университета Пермь
- Первая страница: 73
- Последняя страница: 76
- Аннотация: Прогресс в наноэлектронике и спинтронике стимулирует растущий интерес к использованию нанопленок на основе ниобия и кобальта. Несмотря на активное изучение их свойств и разработку прогностических моделей, ряд технологических аспектов, в частности, вопросы, связанные с осаждением пленок и расчетом их механических параметров, остаются малоизученными. В рамках данного исследования была разработана и апробирована методика определения механических характеристик нанопленок, полученных методом магнетронного напыления.
- Добавил в систему: Виноградов Фёдор Андреевич