|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Синтез фаз системы W-C-B методом химического осаждения из газовой фазыстатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Полигенько А.В., Осипов К.М., Рубан Е.А., Шапоренков А.А., Душик В.В.
- Журнал: Перспективные материалы
- Номер: 11
- Год издания: 2025
- Издательство: Интерконтакт Наука
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 77
- Последняя страница: 86
- DOI: 10.30791/1028-978X-2025-11-77-86
- Аннотация: Рассмотрены вопросы формирования боридов вольфрама в системе W–C–B методом химического газофазного осаждения из парогазовой смеси, содержащей гексафторид вольфрама, водород и триметиламин-боран (ТМАБ), с использованием аргона в качестве газа-носителя. Описана принципиальная схема рабочей установки оригинальной конструкции, приведены использованные материалы и режимы осаждения. Показана принципиальная возможность формирования фаз WB и W2B5 при их осаждении с применением фторидного прекурсора вольфрама. Представлены данные о фазовом составе и морфологии осадков, полученных при различных режимах осаждения, а также предложен возможный механизм фазообразования при химическом осаждении из газовой смеси WF6 – H2 – ТМАБ.
- Добавил в систему: Душик Владимир Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|