|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Mechanisms of Methyl Group Elimination from Low-K Dielectric Surfaces by Plasma of Various Compositionстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 октября 2025 г.
- Авторы: Sycheva A.A., Solovykh A.A., Voronina E.N.
- Журнал: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Том: 19
- Номер: 1
- Год издания: 2025
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 139
- Последняя страница: 150
- Оригинальные версии: Механизмы удаления метильных групп с поверхности low-k диэлектриков плазмой различного состава
- DOI: 10.1134/s1027451025700223
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич