Аннотация:В работе изучены образцы из электротехнического кремния, подвергнутые травлению в среде кислот KO+KOH+KNO3, отличающейся соотношением ее составляющих и временем воздействия. Проведено исследование состояния поверхности образцов методами оптической, электронной и зондовой микроскопии. Методом зондовой микроскопии определены параметры шероховатости поверхностей после травления. Выявлено, что увеличение времени травления приводит к увеличению шероховатости поверхности. Концентрация кислот влияет на топографию поверхности образцов – повышение концентрации способствует формированию поверхности с регулярным микрорельефом, близким по форме неровностей к синусоидальной волнистости.
