|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Математическое моделирование газодинамики и переноса примесей при выращивании монокристаллов кремния на установке Редмет-90Мстатья
- Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
- Сборник: Математическое моделирование в материаловедении электронных компонентов
- Глава в коллективной монографии
- Год издания: 2024
- Издательство: ООО "МАКС Пресс"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 94
- Последняя страница: 97
- DOI: 10.29003/m4270.MMMSEC-2024/94-9
- Аннотация: Представлены результаты математического моделирования газодинамики аргона в разреженной атмосфере ростовой камеры установки РЕДМЕТ-90М для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Анализируется влияние расположения тепловых экранов на структуру течения газа при его впуске через верхнее центральное отверстие камеры и выпуске через центральное отверстие на дне. С учетом течения газа рассчитывается перенос моноокиси кремния, испаряющейся с поверхности расплава, и моноокиси углерода, образующейся в результате окисления нагревателя.
- Добавил в систему: Простомолотов Анатолий Иванович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | МММЭК-2024_материалы_Верезуб-Простомолотов.pdf | 799,8 КБ | 26 ноября 2024 [aiprosto] |