Аннотация:Рассмотрен процесс осаждения капель оксида цинка при импульсном лазерном осаждении пленок оксида цинка в условиях вакуума. Впервые обнаружены капли оксида цинка, закипевшие на поверхности тонкой плёнки оксида цинка. Впервые рассчитаны температура и скорости твердых и жидких капель оксида цинка, при которых они могут закипеть при попадании на подложку. Определены условия закипания жидкой капли при попадании на подложку, учитывающие процессы тепловых потерь на излучение и теплоту фазового перехода. Полученные результаты важны для отработки технологии получения пленок оксида цинка методом импульсного лазерного осаждения.