|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Газодинамика в процессе выращивания монокристаллов кремния методом Чохральскоготезисы доклада
- Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
- Сборник: Сборник аннотаций: 51 школа-конференция «Актуальные проблемы механики»
- Тезисы
- Год издания: 2024
- Место издания: Новгордский Университет Великий Новгород:
- Первая страница: 45
- Последняя страница: 46
- Аннотация: Представлены результаты математического моделирования газодинамики инертного газа (аргона) в разреженной атмосфере ростовой камеры установки Редмет-10 для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Рассмотрены течения газа в холодной (при комнатной температуре) и в горячей (во время ростового процесса) камерах. Анализируются конвективные течения газа для двух способов впуска газа в ростовую камеру: 1 – основной впуск только через верхнее центральное отверстие и 2 – при дополнительном к основному впуске через боковое отверстие камеры.
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Программа_АПМ.pdf | Программа_АПМ.pdf | 287,7 КБ | 7 октября 2024 [naverezub] | |
| 2. | Программа_АПМ_RjhPhut.pdf | Программа_АПМ_RjhPhut.pdf | 287,7 КБ | 7 октября 2024 [naverezub] | |
| 3. | Полный текст | АПМ2024-Верезуб-стенд.pdf | 372,9 КБ | 7 октября 2024 [naverezub] |