|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Механика дефектов в бездислокационных монокристаллах кремниятезисы доклада
- Авторы: Простомолотов А.И., Верезуб Н.А.
- Сборник: Сборник аннотаций: 51 школа-конференция «Актуальные проблемы механики»
- Тезисы
- Год издания: 2024
- Издательство: Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого
- Местоположение издательства: Великий Новгород
- Первая страница: 196
- Последняя страница: 197
- Аннотация: Рассматривается оптимизация двух технологических процессов: выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского и быстрой высокотемпературной обработки вырезаемых пластин из этих монокристаллов. Для метода Чохральского вопросы влияния различных сборок теплового экрана на температурное поле в растущем монокристалле кремния являются актуальными. Этому посвящен ряд патентов ведущих фирм-производителей монокристаллического кремния. Их важность особенно актуальна для выращивания бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра с контролируемой природой, размером и распределением первичных ростовых микродефектов. Для теплового узла отечественной установки Редмет-90М предложена специальная конструкция теплового экрана с водяным охлаждением.
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Программа_АПМ.pdf | Программа_АПМ.pdf | 287,7 КБ | 7 октября 2024 [naverezub] | |
| 2. | Полный текст | АПМ2024-Простомолотов-устный.pdf | 377,0 КБ | 7 октября 2024 [naverezub] |