Аннотация:Основной целью данной работы было выполнение двухмерного моделирования перехода p-n+ -типа в кремнии как в декартовой (прямоугольной), так и в цилиндрической системах координат. Для выполнения приборного моделирования исследованного перехода в указанных системах координат необходимо было предварительно получить структуру перехода, для чего было выполнено его двухмерное технологическое моделирование с помощью программы TSuprem4, которая является частью программного комплекса фирмы Synopsys. По результатам технологического моделирования были определены значения конструктивнотехнологических параметров исследуемой структуры p-п+-перехода. Приборное моделирование как в декартовой, так и в цилиндрической системах координат было осуществлено с использованием программы для двухмерного моделирования электрических характеристик прибора Medici, также являющейся составной частью комплекса фирмы Synopsys. Приборное моделирование позволило оценить значения некоторых электрофизических параметров перехода и построить его пробивные характеристики как для случая моделирования в декартовой, так и для случая моделирования в цилиндрической системах координат. Сравнительный анализ результатов приборно-технологического моделирования показал, что для рассматриваемого p-n -перехода разница в значениях технологических и электрофизических параметров при расчётах в декартовой и цилиндрической системах координат незначительна, составляет от 2.6% до 7.4% для технологического моделирования и 1 1.5% для приборного моделирования, и ей можно пренебречь. Следовательно, рассматриваемую структуру можно моделировать в обеих системах координат с достаточно высокой степенью точности.