Аннотация:В работе исследовано влияние имплантации ионов О+ и N+ в импульсно-периодическом режиме (f=100 Гц, t=1 мс) с энергией ионов 30 кэВ, плотностью тока в импульсе 3 мА/см2 и дозами облучения 1017 и 5•1017 ион/см2 на формирование состава наноразмерных поверхностных слоёв образцов армко-железа, нержавеющей стали Х18Н10Т и меди марки М0. Показано, что формирование наноразмерных поверхностных слоёв ионной имплантацией определяется не только процессами физической природы, всегда сопровождающими облучение, но и химической активностью имплантируемых ионов к компонентам сплава.