RAMAN SPECTROSCOPY STUDY OF DAMAGE AND STRAIN IN (001) AND (011) SI INDUCED BY HYDROGEN OR HELIUM IMPLANTATIONстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 июля 2024 г.