Аннотация:Рассматриваются процессы диффузии в системе "пленка-подложка" при облучении поверхности ионами Ar+ различных энергий. Приведены данные по изменению компонентного состава поверхностных слоев в области границы "пленка-подложка". Проанализированы возможные механизмы диффузии и аномально глубокого компонентного перемешивания, наблюдаемого в результате ионной имплантации.