Распределение радиационных дефектов по глубине при ионном облучении кремния

Новиков, Н.В.; Чеченин, Н.Г.; Широкова, А.А.

Авторы: Новиков Н.В., Чеченин Н.Г., Широкова А.А.
Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Номер: 1
Год издания: 2023
Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 50
Последняя страница: 54
DOI: 10.31857/S1028096023010181
Аннотация: Плотность распределения дефектов достигает максимума на глубине, которая зависит от энергии и массы иона. Эта глубина уменьшается с увеличением угла падения из-за многократного рассеяния первичных ионов в поверхностных слоях мишени. С увеличением массы иона максимальная плотность дефектов увеличивается по степенному закону. Асимметрия максимума в распределении дефектов по глубине связана с увеличением упругих потерь энергии при замедлении иона и уменьшением коэффициента прохождения ионов при увеличении глубины слоя.
Добавил в систему: Широкова Алла Анатольевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ПсковГУ
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ПсковГУ

Распределение радиационных дефектов по глубине при ионном облучении кремниястатья

Прикрепленные файлы