|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Проблемы выращивания трубчатых монокристаллов кремния для непланарных технологий силовой электроникистатья
- Авторы: Простомолотов А.И., Верезуб Н.А., Кондратенко Т.Т.
- Сборник: Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г
- Год издания: 2022
- Издательство: Белорусский государственный университет
- Местоположение издательства: Минск
- Первая страница: 187
- Последняя страница: 192
- Аннотация: Анализируются процессы термомеханики применительно к существующему ихорошо отлаженному процессу выращивания методом Чохральского поликристал-лических сильно дислокационных кремниевых труб большого диаметра для эпитак- сиальных реакторов. Отмечается, что для выращивания трубчатых малодислокационных монокристаллов кремния малого диаметра требуется существенная модернизация стандартного теплового узла, которая в данной работе реализуется применительно к установке «РЕДМЕТ-10» для метода Чохральского. С помощью компьютерного моделирования рассчитываются процессы термомеханики в такой модернизированной установке. Характеризуются параметры выращенных трубчатых монокристаллов кремния, оценивается их пригодность для изготовления силовых полупроводниковых приборов по непланарной технологии. https://elib.bsu.by/handle/123456789/291007
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | MSSE_S.187-192.pdf | 2,1 МБ | 31 декабря 2022 [naverezub] |