|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
МЕХАНИЗМЫ И КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ТАНТАЛОВЫХ ПОКРЫТИЙ БЕЗВОДОРОДНЫМ МЕТОДОМ CVDтезисы доклада
- Авторы: Лубнин А.Н., Ладьянов В.И., Пушкарев Б.Е., Сапегина И.В., Файзуллин Р.Р., Трещёв С.Ю.
- Сборник: Физика конденсированных состояний: сб. тезисов II Международной конференции (31 мая – 4 июня 2021 года, Черноголовка)
- Редактор: Страумал Борис Борисович
- Серия: Физика конденсированных состояний
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Издательство: Российская академия наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 297
- Последняя страница: 297
- Добавил в систему: Трещёв Сергей Юрьевич