|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Зависимость электропроводноститонких углеродных пленок на изолирующих подложках от скорости набора дозытезисы доклада
- Авторы: Картапова Т.С., Гильмутдинов Ф.З., Еремина М.А.
- Сборник: Физические и физико-химические основы ионной имплантации: Тезисы докладов VIII Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов (Казань, 11–14 ноября 2022 г.)
- Том: 1
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Первая страница: 32
- Последняя страница: 32
- Аннотация: В данной работе тонкие углеродные пленки напылялись на поверхность стекла методом магнетронного распыления углеродной мишени в среде рабочего газа Ar+. Затем углеродные пленки подвергались имплантации ионов аргона в импульсно-периодическом режиме. В процессе варьировалась скорость набора дозы имплантации ионов. Толщины и топографии пленок были оценены методом атомно-силовой микроскопии. На уровне ошибки измерения на исходной пленке значения толщины коррелируют с расчетными данными при напылении. Поверхностно-чувствительными методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены их химический состав и особенности атомной структуры. Измерено электросопротивление углеродных пленок в зависимости от скорости набора дозы имплантации. Показано, что ионно-лучевая обработка может быть направленно использована для формирования углеродных пленок и покрытий с заданными свойствами.
- Добавил в систему: Гильмутдинов Фаат Залалутдинович