Аннотация:Микромеханические сенсоры-кантилеверы обладают исключительным потенциалом для детектирования сигнала физических, химических и биологических систем. Механизм обнаружения объектов основан на изменении поверхностного натяжения и изгиба балки кантилевера при адсорбции на него молекул вещества. Измеряемым служит разностный сигнал между отклонениями модифицированного и базового кантилевера.