Аннотация:На основе метода Монте-Карло в приближении однократного рассеяния рассмотрены различные модели взаимодействия электронов (с энергиями 1-100 кэВ) с веществом. В рамках этих моделей описан эффект зарядки в облучаемом образце, состоящем из тонкого слоя диэлектрика, нанесенного на металл. Произведен расчет распределения потенциала электрического поля и поляризации в объеме мишени. Показано, что зарядка верхнего слоя образца может приводить к значительной потере точности в электронной литографии.
Скрыть Аннотацию