|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Bulk micro-machined wide-band aero-acoustic microphone and its application to acoustic rangingстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 ноября 2016 г.
- Авторы: Zhou Z.J., Rufer L., Salze E., Yuldashev P., Ollivier S., Wong M.
- Журнал: Journal of Micromechanics and Microengineering
- Том: 23
- Номер: 10
- Год издания: 2013
- Издательство: IOP Publishing
- Местоположение издательства: [Bristol, UK], England
- Первая страница: 105006
- Последняя страница: 105015
- DOI: 10.1088/0960-1317/23/10/105006
- Аннотация: A wide-band aero-acoustic microphone was realized using a bulk micro-machining process based on the deep reactive-ion etching of silicon. The sensing diaphragm is completely sealed, thus eliminating the loss of low-frequency response resulting from pressure equalization through the release etch-holes present on the diaphragm of a previously reported microphone implemented using a surface-micro-machining process. A dynamic sensitivity of ∼0.33 μV/V/Pa was estimated using an acoustic shockwave (‘N-wave’) generated using a custom-built high-voltage electrical spark-discharge system. This value is comparable to the effective static sensitivity of ∼0.28 μV/V/Pa measured using a commercial nano-indenter system. The response of the microphone is relatively flat from 6 to 500 kHz, with a resonance frequency of ∼715 kHz. An array of three microphones was also constructed and tested to demonstrate the application of these microphones to the localization of high frequency and short duration acoustic sources.
- Добавил в систему: Юлдашев Петр Викторович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Zhou_Microphone_2013.pdf | 2,3 МБ | 3 ноября 2016 [PetrYuldashev] |