Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмойстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Предложен подход для исследования состава синтезированных тонких пленок на основе цинка, допированных In и Ga с применением методов локального рентгеноспектрального анализа (ЛРСА) и масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ИСП-МС). Установлена зависимость содержания и распределения добавок в образце от условий синтеза на вращающихся подложках. Результаты определения методом ИСП-МС в растворах пленок использованы для аттестации результатов, полученных методом ЛРСА без пробоподготовки. Показано, что определение допирующих примесей с содержанием менее 1ат% возможно только методом ИСП-МС.