Моделирование распыления атомов компонент назад и на прострел при ионной бомбардировке монокристаллической и квазиаморфной двухкомпонентных мишенейстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 сентября 2021 г.
Аннотация:Для сравнения характеристик распыления двухкомпонентных монокристаллической и аморфной мишеней применена динамическая модель блока атомов. Показано, что различие этих характеристик обусловлено не только нарушением структуры, но и двухкомпонентным составом мишени.