Аннотация:Проведен комплекс исследований состава, структуры и свойств наноразмерных поверхностных
слоев титанового сплава VТ6, сформированных методом ионно-лучевого перемешивания на-
нопленки углерода. Выявлено, что при ионно-лучевом перемешивании в переходном слое системы
пленка/подложка создаются условия для образования карбидов титана, содержание которых с ро-
стом дозы облучения возрастает до 20 ат. %. Сверхтонкий поверхностный слой образцов как после
нанесения пленки углерода, так и после ее ионно-лучевого перемешивания состоит в основном из
атомов углерода, находящихся в разупорядоченном состоянии с sp2- и sp3-гибридизацией связей С–С.Выявлено уменьшение области когерентного рассеяния в образцах после ионно-лучевого переме-
шивания, что может быть обусловлено увеличением плотности дислокаций и образованием дисло-
кационных субструктур. Формирование карбидов титана, разупорядоченной структуры углерода и
дислокационных субструктур в условиях ионно-лучевого перемешивания обуславливает увеличе-
ние микротвердости образцов более чем в два раза.