Аннотация:Кинетика изменения концентрации фотоиндуцированных метастабильных электрически активных атомов примеси (МЭАП), созданных предварительным сильным освещением пленки a-Si:H(B), в процессе релаксации при подсветке определяется не только термическим отжигом МЭАП, но и их фтоиндуцированным образованием и фотоиндуцированным отжигом.
Фотоиндуцированный отжиг повышает скорость уменьшения концентрации МЭАП по сравнению со скоростью термического отжига в начальный период релаксации, когда его скорость больше скорости фотоиндуцированного образования МЭАП.
Фотоиндуцированный отжиг МЭАП вместе с их фотоиндуцированным образованием изменяет распределение по эффективному времени в ансамбле неотожженных МЭАП, уменьшая эффективное время термической релаксации этого ансамбля.