Аннотация:Установлено, что в результате освещения изьенились параметры растянутой экспоненты, описывающей кинетику изотермической релаксации термоиндуцированных метастабильных состояний в закаленных пленках a-Si:H, легированных фосфором. Эти изменения указывают на наличие фотоиндуцированногол отжига, который не только уменьшает концентрацию термоиндуцированных метастабильных состояний, но и изменяет их распределение по временам релаксации, уменьшая эффективное время релаксации ансамбля.