|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Filamentation of capacitive Radio-Frequency Discharge at low frequenciesстатья
- Авторы: Dvinin S.A., Kodirzoda Z.
- Сборник: ICRP-9/GEC-68/SPP-33 9th International Conference of Reactive Plasmas / 68 Gaseous Electronic Conference / 33rd Simposium of Plasma Processing
- Год издания: 2015
- Место издания: Published by the Japan Society of Applied Physics Tokyo, Japan
- Первая страница: LW1.00016
- Последняя страница: 2
- DOI: ISBN: 978-4-86348-529-7
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович