Место издания:Институт Физики Металлов УрО РАН Екатеринбург
Первая страница:80
Последняя страница:81
Аннотация:Методами РФЭС, РСА и EELFS исследованы химический состав и структура тонких поверхностных слоев армко-железа, легированных углеродом методом ионнолучевого перемешивания. Тонкие (~25 нм) пленки графита на поверхности α-Fe, полученные методом магнетронного напыления при температурах подложки 200 и 250 ОС, облучены ионами Аr+ в импульсно-периодическом режиме (τ=1 мс, ν=200 Гц) с энергией 30 и 40 кэВ и дозами 5*1016 и 1017 ион/см2. Облучение при выбранных режимах приводит к частичному распылению углеродного слоя и перемешиванию компонентов покрытия и подложки через границу раздела. По данным РФЭС формируется протяженный (~ 20 нм) переходный слой переменного состава, в котором наблюдается химическое взаимодействие углерода и железа с образованием химических связей С-Fe, характерных для карбидов железа. Степень перемешивания и доля углерода в связи C-Fe зависят от температурных условий получения пленок и параметров воздействия (энергия, доза). Рентгеноструктурными исследованиями выявлено образование структурных неоднородностей по слою перемешивания, а также образование структуры цементита в переходной области «пленка-металл». Твердость тонких (~70 нм) поверхностных слоев полученных покрытий, определенная методом наноиндентирования, превышает соответствующее значение для исходного армко-железа на 30%.