Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложкахНИР

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 4 октября 2013 г.-15 февраля 2014 г. Автоэлектронная эмиссия из углеродных пленок, полученных в СВЧ ЭЦР плазме на кремниевых подложках
Результаты этапа: Проведено комплексное исследование структурных характеристик и автоэмиссионных свойств углеродных пленок.

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".