Исследование высокочастотного разряда низкого давления как рабочей среды плазменных и лучевых нанотехнологийНИР

Источник финансирования НИР

ФЦП: Федеральная целевая программа, Научные и научно-педагогические кадры инновационной России

Этапы НИР

# Сроки Название
1 20 ноября 2009 г.-5 августа 2011 г. Исследование высокочастотного разряда низкого давления как рабочей среды плазменных и лучевых нанотехнологий
Результаты этапа:

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".