Cпособ получения наноструктур полупроводникапатент
-
Авторы:
Напольский К.С.,
Валеев Р.Г.,
Росляков И.В.,
Лукашин А.В.,
Сурнин Д.В.,
Ветошкин В.М.,
Романов Э.А.,
Лысков Н.В.,
Укше А.Е.,
Добровольский Ю.А.,
Елисеев А.А.
-
Номер:
2385835
-
Дата публикации патента:
10 апреля 2010 г.
-
Добавил в систему:
Елисеев Андрей Анатольевич