ИСТИНА

Полезная модель относится к области измерения малых длин отрезков, характеризующих геометрические параметры субмикронных и наноразмерных объектов, с помощью сканирующей зондовой (в том числе атомно-силовой) или растровой электронной микроскопии. Калибровочная решетка выполнена в виде алюминиевого диска толщиной от 0,2 до 2 мм и диаметром от 4 до 10 мм, на поверхности которого имеется заглубленная область диаметром не менее 3 мм, представляющая собой совокупность полусферических углублений, упорядоченных в двумерный гексагональный массив таким образом. Причем расстояние между их центрами составляет 100 или 50 нм, полуширина распределения на полувысоте составляет менее 6 нм, а доля углублений с шестью соседями составляет более 90%. Техническим результатом является существенное увеличение точности измерения малых длин отрезков, характеризующих морфологию объекта на субмикронном и нанометровом масштабе.