ИСТИНА

Способ изготовления наноструктур для локальных зондовых систем включает формирование методами электронной литографии и селективного травления на подложке из монокристаллического кремния острия зонда, совмещенного с чувствительной наноструктурой. На подложку с ориентацией {100} наносят слои маскирующего покрытия в которых формируют рисунок шаблона в виде четырех удлиненных многоугольников, размещенных по взаимно перпендикулярным осям, совпадающим с двумя перпендикулярными кристаллографическими осями <110>; подложки, с образованием зоны для формирования наноструктуры в условной точке пересечения указанных осей. Затем проводят жидкостное травление подложки через сформированный в маскирующем покрытии рисунок до проявления фигур травления в форме треугольных канавок, образованных пересечением плоскостей {111} подложки. Относительно условной точки пересечения указанных канавок литографическими методами выполняют формирование наноструктуры, а затем проводят механическое разделение подложки на отдельные элементы приложением изгибающего момента. Технический результат – возможность совмещения острия зонда с выполняемой на нем наноструктурой на заданных расстояниях