ИСТИНА

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, в частности к способам калибровки сканера зондового микроскопа. В начале распределенной калибровки пространство перемещений сканера "разбивается" на области сетью, узлы которой соответствуют абсолютным целочисленным координатам сканера. Сканер микроскопа перемещается от одного узла сети к другому соседнему узлу, как по точкам растра. Перемещения в "растре" строятся таким образом, чтобы движения в смежных строках/столбцах, а также в смежных плоскостях производились навстречу друг другу. Положение точного Z манипулятора сканера при перемещении по узлам сети в вертикальной плоскости задают при помощи грубого Z манипулятора. В окрестности каждого узла сети производится локальное сканирование апертуры, поиск и захват ближайшей локальной калибровочной структуры (ЛКС). После определения приблизительных относительных координат особенностей ЛКС выполняется операция скиппинга. Технический результат - повышение точности калибровки сканера зондового микроскопа.