Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ПсковГУ
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Плазмохимический реактор
патент
Авторы:
Бояршинов Ю.А.,
Ермолова Н.А.
,
Маляров А.В.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
Номер:
А.С. СССР № 1609392, 5H01L 21/302
Дата публикации патента:
17 июня 1988 г.
Добавил в систему:
Якунин Валерий Георгиевич