Вернуться к списку оборудования

Полуавтоматическая зондовая станция прецизионного позиционирования


Краткое название: Полуавтоматическая зондовая станция
Тип: Комплексы научного оборудования / Измерительные комплексы
Подразделение: Кафедра физики полимеров и кристаллов
Начало эксплуатации: дата не указана
Идентификатор: 441324604

Технические характеристики: 1. Характеристики оптического микроскопа: 1) регулируемые окуляры 10x; 2) объективы 2х, 10х и 20х; 3) револьверный суппорт для крепления объективов, включая 1 для ближнего инфракрасного (NIR), 1 для ближнего ультрафиолетового (NUV) и 2 для видимого света; 4) источник света с напряжением питания 220 В; 5) совместимость с оптическим излучением высокой мощности. 2. Характеристики системы для лазерной резки: 1) возможность работы с лазерами на длине волны 355 нм и 532 нм; 2) режимы работы: одиночных импульсов, периодический импульсный (1 Гц) или в виде пакета импульсов (5 Гц); 3) трехосевое управление ориентацией и размером реза; 4) минимальный размер реза 1 мкм х 1 мкм (с 100х объетивом); 5) монтирование на микроскопе из п. 2.1.1. 3. Характеристики столика для образцов "тип 1": 1) диаметр не менее 200 мм; 2) наличие вакуумных присосок для крепления образцов; 3) обеспечение линейного горизонтального перемещения образца вдоль координат X-Y; 4) обеспечение вращения образца вокруг вертикальной оси Z; 5) обеспечение линейного перемещения вдоль вертикальной оси Z; 6) точность позиционирования по направлениям X-Y не хуже +/- 5 мкм; 7) повторяемость позиционирования по направлениями X-Y не хуже +/- 3 мкм; 8) разрешение при перемещении по направлениями X-Y Не хуже 1 мкм; 9) угол поворота вокруг вертикальной оси не меньше 12 градусов; 10) разрешение при перемещении вдоль вертикальной оси Z не хуже 0,5 мкм. 4. Характеристики столика для образцов "тип 2": 1) наличие триаксиального защищенного кабеля для измерений при низком уровне утечки. 5. Характеристики зажимного устройства для микроскопа: 1) обеспечение перемещения вдоль вертикальной оси в пределах до 0.5"; 2) ручная установка параллельности вертикальных осей; 3) настройка параллельности осей с точностью не хуже 1,5"; 4) моторизованное линейное перемещение вдоль горизонтальных осей X-Y с точностью не хуже 1 мкм; 5) обеспечение быстрого пневматического подъема микроскопа. 6. Характеристики микропозиционеров: 1) обеспечение возможности моторизованного линейного перемещения зонда по трем осям X, Y и Z при помощи ПО, джойстика или манипулятора; 2) разрешение при линейном перемещении вдоль каждой из осей не хуже 0,1 мкм. 7. Характеристики коаксиального держателя зондовой иголки: 1) уровень собственного шума +2fA (при температуре окружающей среды) при использовании с триаксиальным столиком в электрически защищенной среде; 2) кабель SSM/BNC; 3) щуп в виде вольфрамовой иглы с острием диаметром не более 1,5 мкм. 8. Характеристики микрозахватов (микропинцетов) "тип 1": 1) размер захватываемых объектов 0-60 мкм; 2) напряжение запускающего сигнала 0-150 В. 9. Характеристики микрозахватов (микропинцетов) "тип 2": 1) размер захватываемых объектов 0-30 мкм; 2) напряжение запускающего сигнала 0-110 В; 3) наличие датчика усилия. 10. Характеристики микрозахватов (микропинцетов) "тип 3": 1) размер захватываемых объектов 10-100 мкм; 2) напряжение запускающего сигнала 0-200 В; 3) наличие датчика усилия. 11. Характеристики микроинжеторов (микропипеток): 1) размер получаемой капли до 20 мкм. 12. Характеристики системы управления: 1) программное обеспечение, позволяющее управлять всеми элементами в ручном режиме или автоматически по заданному алгоритму; 2) обеспечение возможности картографирования подложки; 3) программируемое управление, обеспечивающее плавное перемещение образцов по оси "Z"; 4) программное обеспечение для показа изображения на экране и ПК с клавиатурой, мышью и операционной системой Windows или эквивалентной; 5) GPIB картографический интерфейс; 6) обеспечение цветного картографирования подложки; 7) пошаговое управление процессом картирования с помощью задания до 100 программных команд; 8) напряжение питания: 220 вольт. 13. Состав цветной видео системы: 1) CCD адаптер для микроскопа - 1 шт.; 2) малогабаритная цветная CCD камера - 1 шт.; 3) FPD монитор - 1 шт.
Расписание:

Пн-Пт с 10 до 17 по согласованию

Адрес:

119991, ГСП-1, Москва
Ленинские горы, МГУ имени М.В.Ломоносова
Дом 1, строение 2, Физический Факультет, Ц-24

Список ответственных за данное оборудование: В состав комплекса входит следующее оборудование:
Тип Название
Другие типы оборудования (указать какие именно) Полуавтоматическая зондовая станция прецизионного позиционирования (1 шт.)

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Иллюстрация image001.png 567,8 КБ 9 марта 2022 [Parshintsev]

Научные работы: