|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ПсковГУ |
||
Исследование и разработка технологии формирования базовых слоев сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобиядиссертация
- Научный руководитель: Бычков Сергей Павлович
- Автор: Зикий Евгений Владимирович
- Дата защиты: 26 июня 2025 года
- Шифр диссертационного совета: 24.2.331.16
- Организация: МГТУ им. Н. Э. Баумана
- Область знаний: Технические науки
- Специальность: 2.2.3 - Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
- Тип диссертации: Кандидатская
- Оппоненты: Ли Илларион Павлович, Гусев Алексей Васильевич
- Добавил в систему: Зикий Евгений Владимирович