ИСТИНА

В диссертационной работе представлены результаты исследования атомно-кристаллической структуры, фазового и химического составов алмазоподобных покрытий, полученных методами магнетронного реактивного распыления в атмосферах различного состава (a-C:H:Cr), магнетронного ионного распыления «мозаичной» мишени (a-C:Н:W) и методом плазменно-химического осаждения в присутствии газообразных кремнийорганических прекурсоров (a-C:H:Mо:Si). Было установлено, что для покрытий a-C:H:Si:Mо характерно образование ультрадисперсных включений, имеющих состав карбидных или силицидных фаз молибдена. В образцах АПП–W наблюдали рентгеноамофные образования карбидных фаз, тогда как в покрытиях a-C:H:Cr при напылении в смеси ацетилен–азот установлено формирование нанокомпозитной структуры на основе хрома, а также наличие карбидных и нитридных фаз хрома. Трибологические испытания показали, что покрытия, содержащие кремний–молибден, имеют высокий коэффициент трения и низкую фрикционно-усталостную долговечность. Покрытия a-C:Н:W характеризовались высокой нанотвердостью, но невысокими трибологическими характеристиками, тогда как покрытия, содержащие хром, имели высокие как механические, так и трибологические характеристики, что делает их перспективными для работы при больших контактных давлениях.